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精密位置測定用位相補正付きローパス・フィルタ

キャステムでは精密位置測定用に使用可能なデジタル・フィルタ装置の設計,開発を行っております。 レーザ干渉計の非線形誤差(λエラー)対策等に使用されております。

  • 高速高精度位置決め用位置検出信号のノイズ成分をデジタル・フィルタでカットします。
  • ローパス・フィルタによる低周波領域での位相遅れを補正するデジタル・フィルタをFPGAを用いたIIRフィルタ設計技術で実現します。
位相遅れの補正イメージ
位相遅れの補正イメージ


位相補正付きローパス・フィルタの基本構成
位相補正付きローパス・フィルタの基本構成



開発のプロセス
  1. カットしたいノイズ周波数と許容位置のずれを算出します。
  2. システム・シミュレーションでフィルタ定数の決定をします。
  3. IIRのフィルタ設計,試作,評価をします。
  4. 実際にFPGAで回路を組み,製品化します。
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